Profiler Fotoelektrik DRK8090

Instrumen ini menggunakan kaedah pengukuran interferometrik tanpa sentuhan, peralihan fasa optik, tidak merosakkan permukaan bahan kerja semasa pengukuran, boleh dengan cepat mengukur grafik tiga dimensi permukaan mikro-topografi pelbagai bahan kerja, dan menganalisis dan mengira pengukuran keputusan.

Penerangan Produk
Ciri-ciri: Sesuai untuk mengukur kekasaran permukaan pelbagai blok tolok dan bahagian optik; kedalaman reticle pembaris dan dail; ketebalan salutan struktur alur parut dan morfologi struktur sempadan salutan; permukaan cakera magnetik (optik) dan kepala magnet Pengukuran struktur; kekasaran permukaan wafer silikon dan ukuran struktur corak, dsb.
Oleh kerana ketepatan pengukuran yang tinggi bagi instrumen, ia mempunyai ciri-ciri pengukuran bukan sentuhan dan tiga dimensi, dan mengamalkan kawalan komputer dan analisis pantas dan pengiraan hasil pengukuran. Instrumen ini sesuai untuk semua peringkat unit penyelidikan ujian dan pengukuran, bilik ukuran perusahaan perindustrian dan perlombongan, bengkel pemprosesan ketepatan, dan juga sesuai untuk Institusi pengajian tinggi dan institusi penyelidikan saintifik, dsb.
Parameter teknikal utama
Julat mengukur kedalaman ketidaksamaan mikroskopik permukaan
Pada permukaan berterusan, apabila tiada ketinggian perubahan mendadak lebih besar daripada 1/4 panjang gelombang antara dua piksel bersebelahan: 1000-1nm
Apabila terdapat mutasi ketinggian lebih daripada 1/4 daripada panjang gelombang antara dua piksel bersebelahan: 130-1nm
Kebolehulangan pengukuran: δRa ≤0.5nm
Pembesaran kanta objektif: 40X
Bukaan berangka: Φ 65
Jarak kerja: 0.5mm
Medan pandangan instrumen Visual: Φ0.25mm
Gambar: 0.13×0.13mm
Pembesaran alat Visual: 500×
Gambar (diperhatikan oleh skrin komputer)-2500×
Tatasusunan ukuran penerima: 1000X1000
Saiz piksel: 5.2×5.2µm
Masa pensampelan masa pengukuran (pengimbasan) masa: 1S
Pemantulan cermin standard instrumen (tinggi): ～50%
Pantulan (rendah): ～4%
Sumber pencahayaan: lampu pijar 6V 5W
Panjang gelombang penapis gangguan hijau: λ≒530nm
Separuh lebar λ≒10nm
Lif mikroskop utama: 110 mm
Lif meja: 5 mm
Julat pergerakan dalam arah X dan Y: ～10 mm
Julat putaran meja kerja: 360°
Julat kecondongan meja kerja: ±6°
Sistem komputer: P4, 2.8G atau lebih, paparan skrin rata 17 inci dengan memori 1G atau lebih